رقائق السيليكون هي المادة الأساسية في صناعة أشباه الموصلات الكهروضوئية، مع عملية تصنيع معقدة ومتطلبات فنية عالية. العملية الأساسية لتصنيع رقائق السيليكون هي كما يلي:

1 、 إعداد المواد الخام المادة الخام لرقائق السيليكون هي السيليكون عالي النقاء، وعادة ما يكون على شكل سيليكون متعدد البلورات أو سيليكون أحادي البلورة. عادةً ما يتم استخراج كتل السيليكون هذه من الخامات ثم يتم تكريرها وتنقيتها لإنتاج سيليكون متعدد البلورات عالي النقاء.

2 、 تكرير السيليكون متعدد البلورات أولا، يتم إزالة الأكسدة من خام الكوارتز وتنقيته لإزالة الشوائب مثل الحديد والألومنيوم. ثم، من خلال تفاعل كيميائي، يتم تحويل ثاني أكسيد السيليكون النقي نسبيًا (SiO2) إلى سيليكون متعدد البلورات. التفاعل الرئيسي هو SiO2 + C → Si + CO. ويتطاير أول أكسيد الكربون (CO) الناتج، تاركًا وراءه بلورات السيليكون.

3 、 نمو السيليكون أحادي البلورية هناك طريقتان رئيسيتان لزراعة السيليكون أحادي البلورية: طريقة Czochralski (CZ) وطريقة Float Zone (FZ). طريقة Czochralski هي التكنولوجيا السائدة، حيث يتم وضع السيليكون متعدد البلورات في بوتقة وتسخينه إلى حالة منصهرة. يتم بعد ذلك ملامسة بلورة البذرة مع السيليكون المنصهر ويتم سحبها ببطء إلى الأعلى لتكوين السيليكون أحادي البلورية. تتضمن طريقة المنطقة العائمة تسخين قضيب السيليكون متعدد البلورات في فراغ أو بيئة غاز خامل باستخدام مجال كهربائي، مما يؤدي إلى ذوبان موضعي. عن طريق تحريك منطقة التسخين وسحب بلورة البذور ببطء، يتم تشكيل قضيب سيليكون أحادي البلورية عالي المقاومة وعالي النقاء.

4 、 معالجة سبائك السيليكون تحتاج سبيكة السيليكون أحادية البلورية المزروعة إلى أن يتم طحنها للوصول إلى قطر قياسي ومن ثم تقطيعها إلى شرائح رقيقة. تكون حواف الرقاقات المقطعة حادة وتحتاج إلى مشطوفة لإنشاء حواف ناعمة.

5 、 تلميع رقاقة السيليكون تهدف عملية التلميع إلى جعل سطح رقاقة السيليكون أكثر نعومة، وخاليًا من التلف، وضمان اتساق السُمك. هذه الخطوة ضرورية لتصنيع الرقائق اللاحقة.

6 、 الاختبار والتعبئة والتغليف تخضع رقائق السيليكون المصقولة لاختبارات الخصائص الكهربائية، مثل اختبار المقاومة. اعتمادًا على المتطلبات، قد تخضع الرقاقات للنمو الفوقي لتكوين رقائق السيليكون الفوقي ذات خصائص كهربائية محددة.